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GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜**可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
产品型号 | GSL-LCD(控制面板为触摸屏） | ||||
技术参数 | 功能 | 双通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
质子流量控制器 | 工作温度：5~45oC **压力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 | 工作温度：5~45 oC **压力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±（0.5-1.5）%F.S. 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 | 工作温度: 5~45 oC **压力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 | 工作温度: 5~45 oC **压力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±（0.5-1.5）%F.S. 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客户要求定制 | |
产品规格 | 外形尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) | ||||
输入电源 | AC 220V/50Hz单相 | ||||
功率 | 23W | ||||
PLC触摸屏 | 各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上 RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制 | ||||
机械压力表 | 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) | ||||
针阀 | 316不锈钢 | ||||
通气管道 | 内部连接管道为1/4”不锈钢管 外部通气管道为1/4”聚四氟管 | ||||
混气罐 | Φ80X120mm | ||||
截止阀及配件 | 316不锈钢针阀 Φ1/4”不锈钢管 | ||||
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