产品名称

VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机

主要特点

1、可台面式操作，外形尺寸紧凑

2、超声波雾化或二流体雾化喷嘴可选

3、底盘旋转加热，XY电缸移动式喷胶

4、可处理**基片尺寸为8寸晶圆，向下兼容

技术参数

1、热盘温控范围：室温—150℃，温度分辨率：0.1℃

2、温度均匀性：小于±1％（工作范围内）

3、胶体流速范围：1-20ml/min

4、电缸移动速度：1-200㎜/s

5、电缸定位精度：±0.02㎜

6、电缸有效行程：300×300㎜

7、超声波雾化粒径：小于50μm

产品规格

外形尺寸：928（W）×800（D）×510（H）㎜