沈阳科晶自动化设备有限公司
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靶头
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产品简介

产品简介:本公司所售头适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。

靶头种类

直、折靶

方靶

自转转靶

公、自转转靶

多弧溅射弧源

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