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瑞士lynceetec数字全息显微镜DHM
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来自瑞士Lyncee Tec数字全息显微镜的**解决方案、资源和产品

全球*快光学轮廓仪:****的四维动态形貌测试!

非扫描,无损伤,不接触,快来体验全新的四维世界!

全新的科研视角,独到的动态测试,创新就是这么简单!

Lyncee Tec全息四维轮廓仪*快1000帧/秒的亚纳米三维/四维形貌实时量测真空、液体、气份、温/湿度等可控环境下测试高达25MHz的可测MEMS器件全视场周期振动形貌测量、材料表征、三维光学检测、产品质量监控、活体生物细胞非侵入测量等多个应用领域 请浏览Lyncee Tec中文网页获取更多资讯

应用案例:Link实时四维形貌量测、微热板薄膜加热形变、加热可降解材料挥、发液体透镜结构形变、光敏液晶聚合物受光形变、电化学刻蚀、动态形貌石墨烯薄膜受力形变、更多应用案例、

MEMS器件面内和面外振动分析、24.7MHz表面声波惯性传感器微执行器、MEMS悬臂梁、MEMS微翻转镜、超声传感器、更多应用

活体细胞

非侵入量化相位显微(QPM)、高内涵筛选-细胞毒理分析、酵母菌干重实时测量、光学膜片钳活体细胞四维成像、更多应用案例

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DHM VS 白光干涉仪WLIDHM VS 共聚焦激光扫描显微镜DHM VS 接触式表面轮廓仪
2 点主要区别:

1、 DHM®相干长度是400μm,而WLI只有15μm。实际上,这意味着与DHM®聚焦比得上标准的光学显微镜。相反,使用WLI,用户需要搜索条纹,倾斜样本使样本在这个表面小范围内测量。

2、DHM®是一个更灵活的仪器,因为它使用物镜通过玻璃或者浸入式从光学显微镜测量。WLI要求特定的干涉仪物镜有限定且复杂的玻璃补偿。

2点主要区别:

1、 DHM®垂直分辨率并不依赖于放大倍数,即显微镜物镜的数值孔径(NA)。与此相反,CLSM的垂直分辨率依赖于焦点的深度,而其会降低物镜的NA。

2、 DHM®垂直分辨率达到亚纳米精度,而CLSM使用高NA物镜对样品形貌*终的垂直分辨率分辨率只是几纳米。

主要区别:

除了相比任何扫描方法的优势外,DHM®是一个非接触式光学表面光度仪,由于非接触方法可防止任何接触损害。采用表面光洁度轮廓仪(如探针式轮廓仪和AFM)的测量,可能会因表面的弹性变形、探针拖动污垢或损坏的探针而受到影响。

FeaturesDHMWLIFeaturesDHMCLSMFeaturesDHM®轮廓仪
时间分辨测量×时间分辨测量×时间分辨率测量×
样品设置,不需要倾斜样品×对曲率的数字补偿有很大的深度×快速筛选表面,寻找感兴趣区域×
直观聚焦的大垂直可视化范围×可拆卸和灵活的仪表头×通过玻璃和浸入式测量×
用标准光学显微镜对玻璃进行测量×非接触、无损方法×
可拆卸和灵活的仪表头×
参数
DHM型号T1000T2100
激光源数量12
工作波长(±1.0nm)666 nm666 nm, 794 nm
激光波长稳定性0.01 nm/°C@666nm
样品台手动或电动 XYZ 三轴样品台,**移动范围 114 mm x 76 mm x 38 mm
物镜放大倍数 1.25x 100x,可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等
电脑Dell**工作站,Intel® 多核处理器,高性能显卡针对对 DHM®优化配置,*小21寸显示器
专用软件Koala专用数据采集分析软件,基于C++ .NET 附加专用分析软件供不同应用分析(MEMS Analysis ToolCell Analysis ToolReflectometry Analysis)
性能
测量模式单激光波长 666 nm双激光合成波长8 μm
可用该测量模式的DHM型号T1000, T2100T2100
测量精度[nm]1.041.0/5.04
纵向分辨率[nm]2.042.0/10.04
测量重复性[nm]0.0240.024/0.054
动态可测纵向范围**500 μm 4**500 μm 4
**可测台阶高度**1.0 μm 4**7.0 μm 4
**3.5 μm 4**22 μm 5
垂直校准由干涉滤光片决定,范围±0.1 nm
图像采集时间标准500 μs (*快可选10μs)
图像采集速率标准30/1024x1024像素(*快可选1000/)
实时重建速率标准25 /1024x1024像素(*快可选 100 /)
横向分辨率由所选物镜决定,** 300 nm
视场由所选物镜决定,范围从 66 μm x 66 μm 5 mm x 5 mm
工作距**50倍于景深 (由所选物镜决定)
样品照明*低1μW/cm2
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