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HORIBA射频辉光放电光谱仪. GD Profiler 2

HORIBA射频辉光放电光谱仪. GD Profiler 2
  • 品牌:HORIBA
  • 产地:上海
  • 关注度:1573
  • 型号: GD Profiler 2
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
  • 仪器原理:其他
产品介绍

辉光放电光谱仪是解密镀层工艺、解析镀层结构的强有力手段,可以通过元素变化获得镀层结构、层间扩散、元素富集、表面处理、镀层均一性等信息,从而改善工艺条件等。主要应用行业有金属冶金、半导体器件、LED芯片、薄膜太阳能电池、锂电池阴阳、光学玻璃、核材料等。


 


GD-Profiler 2 作为超快镀层分析的理想工具,非常适合于导体和非导体复合镀层的分析,操作简单、便于维护,是镀层材料研发、质控的理想工具。


· 使用脉冲式射频辉光源,可有效分析热导性能差以及热敏感的样品。

·  采用多项技术,如高动态检测器(HDD),可测试ppm-100%的浓度范围,Polyscan多道扫描的光谱分辨率为18pm~25pm等。

·  分析速度快(2-10nm/s)

 



技术参数:

1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑为平坦、等离子体稳定时间短,表面信息无任何失真。

2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜,也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。

3、Polyscan多道(同时)光谱仪可全谱覆盖,光谱范围从110nm-800nm,可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。

4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有大的光通量,因而拥有**的光效率和灵敏度。

5、高动态检测器(HDD)可快速、高灵敏的检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×1010

6、宽大的样品室方便各类样品的加载。

7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。

8、HORIBA独有的单色仪(选配)可大地提高仪器灵活性,可实现固定通道外任意一个元素的同步测试,称为n+1。

9、适用于ISO14707和16962标准。



仪器原理:

辉光放电腔室内充满低压氩气,当施加在放电两的电压达到一定值,超过激发氩气所需的能量即可形成辉光放电,放电气体离解为正电荷离子和自由电子。在电场的作用下,正电荷离子加速轰击到(阴)样品表面,产生阴溅射。在放电区域内,溅射的元素原子与电子相互碰撞被激化而发光。





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  • HORIBA射频辉光放电光谱仪. GD Profiler 2包安装吗?
工商信息

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HORIBA科学仪器事业部

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自从1953年成立以来,堀场制作所已经成长为一个主要的分析检测仪器和设备制造商,并且以其高精尖的产品成功地将市场拓展到了全球各个国家和地区。堀场的产品几乎应用于所有的工业领域企业中的产品研发和质量控制,包括汽车、半导体、新材料、能源、冶金、食品加工以及科学研究等领域。堀场的发动机排放分析仪一直在促进着世界范围内的汽车厂商对低排放高燃烧效率发动机的开发;公司的大气污染监测仪和酸雨检测设备在调查引起全世界关注的环境问题的原因方面起着极其重要的作用。堀场以为环境保护做贡献为

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