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小型回转PECVD系统

小型回转PECVD系统
  • 品牌:贝意克
  • 产地:安徽
  • 关注度:1951
  • 型号:BTF-1200C-R-S-PECVD
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
  • 非金属电热元件:其他
  • 金属电热元件:铁铬铝丝
  • 烧结气氛:真空
  • 温控精度:±1℃
  • 最高温度:1200℃
  • 额定温度:1100℃
产品介绍

一、主要特点

1、该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;

2、可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间;

3、该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象;

4、本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前**端的金属复合材料制备设备。


二、技术参数

显示模式

7"液晶触屏显示

**温度

1200℃

升温速率

10℃/S

 加热区长度

 230mm

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

热电偶

K型

控温方式

7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

炉管尺寸

Φ25*800mm

炉管转速

3~13r/min

倾斜角度

0~35°

加热功率

3KW

射频功率输出范围

0~500W

供气系统

标配三路质量流量计(50/100/200sccm)

供电电源

220V50Hz

通讯接口

USB

外形尺寸

1600mm*650mm*1400mm

设备净重

约220KG


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  • 小型回转PECVD系统的工作原理介绍?
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  • 小型回转PECVD系统使用的注意事项
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工商信息

企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者。 公司重视技术攻关和产品研发,建有一流的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得**200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基地 公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类

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