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红外快速退火炉系统

红外快速退火炉系统
  • 品牌:
  • 产地:安徽合肥
  • 关注度:956
  • 型号:BTF-1200C-RTP-CVD
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    一、设备简介

    该款设备是由单端封口红外滑轨炉、 高真空机组、供气系统及操作控制界面组成,内控热电偶用于控制RTP炉内的温度,出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取,进气口除用于通入保护气体或反应气体外,还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温,以此获得较高的降温速率。


    二、技术参数

    加热系统

    额定电压

    AC 220V  50/60Hz

    额定功率

    20KW

    使用温度

    1200℃

    额定温度

    1000℃

    稳定状态温度范围

    100~1000℃

    加热区长度

    230mm

    恒温区长度

    120mm

    温度控制重复性

    ±3℃

    温度控制精确度

    ±0.1℃

    升温速率

    ≤50℃/s

    控温方式

    内控温

    温度过冲

    3℃

    炉管尺寸

    高纯石英管Φ90*400*R45mm

    控温方式

    智能化PLC控制,具有超温和断偶报警功能

    真空机组主要参数

    空气相对湿度

    ≤85%

    工作电压

    220V±10%  50~60Hz

    抽气速率

    165L/min

    实验真空度

    5.0x10-1Pa(空载、冷态)

    容油量

    1.1L

    进气口口径

    KF25

    排气口口径

    KF25

    供气系统主要参数

    连接头类型

    双卡套不锈钢接头

    标准量程(N2

    200sccm、500sccm

    准确度

    ±1.5%

    线性

    ±0.5~1.5%

    重复精度

    ±0.2%

    响应时间

    气特性 1~4Sec,电特性 10Sec

    工作压差范围

    0.1~0.5MPa

    压力

    ≤3MPa

    接口

    Φ6,1/4”

    显示

    液晶屏显示

    工作环境温度

    5~45高纯气体

    内外双抛不锈钢管

    Φ6


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    工商信息

    企业名称

    安徽贝意克设备技术有限公司

    企业类型

    信用代码

    91340100591423143H

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

    有效期限

    经营范围

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    安徽贝意克设备技术有限公司
    客服电话
    安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者。 公司重视技术攻关和产品研发,建有一流的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得**200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基地 公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类

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