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卷对卷连续走丝CVD沉积系统

卷对卷连续走丝CVD沉积系统
  • 品牌:贝意克
  • 产地:安徽合肥
  • 关注度:430
  • 型号:RTR-1700C-III-CVD
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
  • 金属电热元件:其他
  • 烧结气氛:其他
  • 温控精度:±1℃
  • 最高温度:1700℃
  • 额定温度:≤1600℃
  • 非金属电热元件:硅钼棒
产品介绍

一、产品特色

★该卷对接设备搭配左右收放卷仓、感应加热组件、加热炉、尾部过滤组件、气路组件、真空组件等;

★ 左端为放卷仓,由电机加上卷轴组件等部件组成,法兰上配有2组截止阀控制的进气口1和2,法兰上配有1个压力表,仓体上配有真空规和KF口;右端为收卷仓,由电机加上卷轴组件等部件组成, 法兰上配有1组球阀控制的出气口,仓体上配有真空规和KF口,尾部配有过滤组件;

★ 感应加热组件由线圈、高频主风机组件组成;加热炉为三温区:200+200+200mm组成;前部为触摸屏操控界面;尾部过滤组件内置过滤挡片,方便清洗更换,同时尾部配有搅拌功能,防止尾部杂质淤积和堆积;气路为6路供气,其中4路混合一路进左法兰进气口1,一路预热后进左法兰进气口2,另外1路作为吹扫,进右腔体保护使用;真空组件由一台机械泵和一套真空泵组合而成;

★ 设备采用承重框架结合钣金包围形式。机架采用深灰色、门板等采用时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能。


二、技术参数

额定功率

45KW

额定电压

380V

工作持续温度

≦1600℃

推荐升温速率

1400℃以下≤10℃/min,1400℃到 1600℃≤5℃/min,1600℃以下≤2℃/min

炉管尺寸

刚玉管φ25mm×1600mm

加热区长度

200mm+200mm+200mm

感应加热机型号

BTG45

热电偶

B 型热电偶

控温方式

模糊 PID 控制和自动整定调节,智能化 30 段可编程控制

控温精度

±1℃

加热元件

硅钼棒

炉体尺寸

长 2915mm×宽 1535mm×高 1455mm

炉体净重

950KG


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工商信息

企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者。 公司重视技术攻关和产品研发,建有一流的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得**200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基地 公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类

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