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立式化学气相沉积炉

立式化学气相沉积炉
  • 品牌:顶立科技
  • 产地:湖南
  • 关注度:6372
  • 型号:VCVD
  • 报价:100-150万元
  • 信息完整度:
核心参数
  • 金属电热元件:镍铜丝
  • 烧结气氛:真空
  • 温控精度:±5
  • 最高温度:1500
  • 额定温度:1500
  • 非金属电热元件:其他
产品介绍

 立式化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理。


技术特征

☆ 采用多温区独立控温,温度均匀性好;

☆ 采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
☆ 采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
☆ 对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。


产品规格

参数\型号VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1320-CVCVD-1520-C
工作区尺寸D×H(mm)Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1100×2000Φ1300×2000Φ1500×2000
**温度(℃)150015001500150015001500
温度均匀性(℃)±5/±10±7.5/±10±7.5/±15±10/±15±10/±15±10/±20
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应


参数\型号VCVD-1822-CVCVD-2032-CVCVD-2632-CVCVD-3338-CVCVD-3344-C
工作区尺寸D×H(mm)Φ1800×2200Φ2000×3200Φ2600×3200Φ3300×3800Φ3300×4400
**温度(℃)15001500150015001500
温度均匀性(℃)±15±15±15±20±20
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。



配置选择

☆ 炉门:丝杆升降/液压升降/手动升降;旋转移开/平行移开(大尺寸炉门);手动锁紧/自动锁圈锁紧 

☆ 炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
☆ 炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
☆ 加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
☆ 工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
☆ 热电偶:K分度号/N分度号/C分度号/S分度号

 


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  • 立式化学气相沉积炉的工作原理介绍?
  • 立式化学气相沉积炉的使用方法?
  • 立式化学气相沉积炉多少钱一台?
  • 立式化学气相沉积炉使用的注意事项
  • 立式化学气相沉积炉的说明书有吗?
  • 立式化学气相沉积炉的操作规程有吗?
  • 立式化学气相沉积炉的报价含票含运费吗?
  • 立式化学气相沉积炉有现货吗?
  • 立式化学气相沉积炉包安装吗?

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工商信息

企业名称

湖南顶立科技股份有限公司

企业类型

其他股份有限公司(非上市)

信用代码

91430100788042096T

法人代表

戴煜

注册地址

中国(湖南)自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地(长龙街道)凉塘东路1271号

成立日期

2006-05-25

注册资本

3989.2752万人民币

有效期限

2006-05-25 至 无固定期限

经营范围

许可项目:第二类医疗器械生产;第三类医疗器械生产;第三类医疗器械经营(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:新材料技术研发;新材料技术推广服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;工业设计服务;3D打印服务;3D打印基础材料销售;增材制造;石墨及碳素制品制造;石墨及碳素制品销售;合成材料制造(不含危险化学品);高性能纤维及复合材料制造;高性能纤维及复合材料销售;金属材料制造;非金属矿物制品制造;非金属矿及制品销售;金属基复合材料和陶瓷基复合材料销售;锻件及粉末冶金制品制造;锻件及粉末冶金制品销售;金属表面处理及热处理加工;机械电气设备制造;机械设备研发;机械设备销售;机械设备租赁;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);冶金专用设备制造;冶金专用设备销售;环境保护专用设备制造;环境保护专用设备销售;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;智能基础制造装备制造;智能基础制造装备销售;烘炉、熔炉及电炉制造;烘炉、熔炉及电炉销售;增材制造装备制造;增材制造装备销售;非居住房地产租赁;货物进出口;技术进出口;第二类医疗器械销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。
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