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1200℃集成型自动小型PECVD系统

1200℃集成型自动小型PECVD系统
  • 品牌:中环
  • 产地:天津
  • 关注度:3516
  • 型号:1200℃集成型自动小型PECVD系统
  • 报价:20-30万元
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    产品用途

    PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

    PECVD系统配置;

    1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉

    2.等离子射频电源

    3.多路质量流量控制系统

    4.真空系统(单独购买)

    产品特性;

    电源范围广;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

    1200xiaopecvdbiao1.png  1200xiaopecvdbiao2.png



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    工商信息

    企业名称

    天津中环电炉股份有限公司

    企业类型

    信用代码

    91120113700587236G

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

    有效期限

    经营范围

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    天津中环电炉股份有限公司简称中环电炉,始于1993年,以“为用户提供优质的产品”为使命,致力于成为材料烧结测试系统专业生产商。(致力于成为材料烧结测试系统解决方案专家)中环电炉集研发、制造、营销能力于一身,以实验室电炉和热分析系统两大产品线为核心,已拥有实验室电加热类产品21大系列280余种, 热分析类产品可视化高温形变分析仪和高温接触角测试仪等,**达到40多项,并以每年10余项的数量递增,在国家级科研院所,知名高校和重点领域企业拥有上万用户,公司产品主要应用于金属

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