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1200加长双温区CVD系统

1200加长双温区CVD系统
  • 品牌:上海煜志
  • 产地:上海
  • 关注度:2444
  • 型号:YHGS-I
  • 报价:5-10万元
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    简介 

    1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉,多通道高精度质量流量计混气系统,高真空分子泵系统等组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积、扩散实验。同时上海煜志良好的售后服务体系,使得该产品的整体评价远超同行业标准。

    主要技术参数

    炉体结构

    整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构

    日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

    双层壳体结构,内置风冷层,有效降低外壳表面温度

    炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

    电源

    电压:AC220V 50/60Hz;功率:8kW

    炉管

    高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小;

    尺寸:Φ60/80/100*1200mm

    法兰及支撑

    SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空

    一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

    可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

    包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合

     

    加热系统

    加热元件采用优质合金丝,表面负荷高、经久耐用;

    加热区长度:350mm*2;

    恒温区长度:450mm; 

    工作温度:≤1150℃; 

    **温度:1200℃;

    升温速率:推荐≤10℃/min;

    *快升温速度30℃/min.

    温控系统

    日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段; 

    测温元件:N型热电偶; 控温精度:±1℃ 

    混气系统

    三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制

    内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

    管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套

    每路气体进气管路配有不锈钢针阀

    通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

    流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

    法兰上预留一路浮子流量计,流量规格0.3-3L/min

    真空系统

    采用双极旋片真空泵+分子泵,极限真空可达4.0*10-4Pa

    复合真空计显示,配置电阻规+电离规

    抽速:110L/s,风冷式散热结构

    配置真空角阀、波纹管、压差式充气阀

    可选配件

    冷水机,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件等

    保修期

    整机一年保修(相关耗材除外)


    可根据客户要求定制!


    特色与优势

    1.加长双温区炉体,大大加长了实验区域的温度均匀性;

    2.开启式炉盖设置,降低沉积温度、加快沉积速度;

    3.日本富士温控仪表,64段控温程序,可分布,分段,三路质量流量计,数字显示精确控制气体流量;

    4.双极旋片真空泵+分子泵,实现对真空度的不同要求,极限真空可达4.0*10-4Pa;

    5.配置一路浮子流量计及三路高精度质量流量计混气系统,可满足不同气氛下的实验要求;

    6.内置S型热电偶,可快速、实时监测反应物料的温度变化情况;

    7.尾气活性炭过滤处理,减少反应气体排放对实验室环境的影响。

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    • 1200加长双温区CVD系统的工作原理介绍?
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    • 1200加长双温区CVD系统使用的注意事项
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    工商信息

    企业名称

    杭州嘉悦智能设备有限公司

    企业类型

    其他有限责任公司

    信用代码

    91310114MA1GTDEL81

    法人代表

    张鹏

    注册地址

    浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢202室

    成立日期

    2020-05-12

    注册资本

    1,939.1万(元)

    有效期限

    2020-05-12 至 无固定期限

    经营范围

    一般项目:通用设备制造(不含特种设备制造);烘炉、熔炉及电炉制造;冶金专用设备制造;玻璃、陶瓷和搪瓷制品生产专用设备制造;半导体器件专用设备制造;烘炉、熔炉及电炉销售;泵及真空设备销售;电子产品销售;仪器仪表销售;机械设备研发;冶金专用设备销售;半导体器件专用设备销售;机械电气设备销售;工业自动控制系统装置销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术研发;新型陶瓷材料销售;石墨烯材料销售;石墨及碳素制品销售;非金属矿及制品销售;功能玻璃和新型光学材料销售;货物进出口;技术进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。
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