合肥费舍罗热工装备有限公司
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【简单介绍】
FGL系列双温区¬管式梯度炉专门设计用于双温区CVD工艺也可用于其它高温材料的热处理工艺。两个温区独立控制,温区可单独使用,也可提供较大梯度差的温场。优质硅钼棒、硅碳棒,硅碳棒,电阻丝组合加热,在同一腔体内实现不同的温度差,是CVD工艺的专用理想设备。
【详细说明】
FGL系列双温区管式梯度炉(T max 1700℃和T max 1400℃)
FGL系列双温区管式梯度炉专门设计用于双温区CVD工艺也可用于其它高温材料的热处理工艺。两个温区独立控制,温区可单独使用,也可提供较大梯度差的温场。优质硅钼棒、硅碳棒,硅碳棒,电阻丝组合加热,在同一腔体内实现不同的温度差,是CVD工艺的专用理想设备。
特点
工作温度RT~1600℃
炉管管径40mm~100mm可选
温区个数2个
高温温度梯度可达400℃,低温温度梯度可达600℃
程序控温仪,智能逻辑PID算法,控制精准。可编辑、储存并调用多段程序,无需重新设置,操作简单。
炉壳结构,双层炉壳风冷结构。
采用不锈钢双层密封法兰,进、出气配美标针阀。
两端可调节式法兰支撑结构,延长刚玉管使用寿命。
超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电。
安全保护当炉体漏电时自动断电。
LED高强度抗破坏全不锈钢按钮,经久耐用。
拓展选件: 炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);
真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);
气氛系统(浮子流量计、质量流量计);
监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控);
技术参数
企业名称
合肥费舍罗热工装备有限公司企业类型
信用代码
91340100097391430R法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
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