美国补贴康宁3200万美元！生产芯片制造用石英玻璃

中国粉体网讯  近日，美国商务部宣布了一项计划，该计划将资助美国特种玻璃巨头康宁公司提高芯片制造过程中使用的玻璃产品的产量。

根据TomsHardware报道，康宁公司与英特尔、台积电（TSMC）和三星等全球领先的晶圆代工厂一样，将从美国的《芯片和科学法案》中获得财政补贴。公告显示，康宁与美国商务部签署了初步协议，根据该法案，康宁将获得大约3200万美元的拨款支持。

康宁公司将把这笔资金将用于扩大其位于纽约州坎顿的制造工厂，以增加高纯度熔融石英（HPFS）和Extreme ULE玻璃等特殊材料的产量。该项目还将使康宁公司在纽约坎顿的工厂"扩展一种新的生产工艺"，预计将创造130个新的生产岗位和超过175个建筑岗位。

据悉，康宁公司是全球材料科学的领导创新者之一，过去的170多年来一直致力于改变生活的突破创新。康宁凭借在玻璃科技、陶瓷科技和光学物理领域的专业知识，以及资深的生产和制程能力不断开发出开创新行业并且改善人们生活的产品。康宁的业务涉及光通信、移动消费电子、显示科技、汽车应用、太阳能、半导体和生命科学等领域。 

来源：康宁公司

康宁是半导体行业光学材料和光学器件的全球领先供应商。康宁生产高质量材料，如高纯度熔融石英（HPFS®）、超低膨胀玻璃（ULE®）和氟化物晶体，这些材料在最恶劣的激光和辐射暴露水平下经过优化，具有透射率和耐用性，是半导体光刻工艺的理想选择。

康宁在纽约州的专家生产康宁® HPFS® 熔融石英

来源：康宁公司

高纯度熔融石英

康宁的熔融石英有多种不同等级可供选择，以支持各种产品应用，其具有极低的折射率变化，可实现最先进的均匀性值、最低的双折射值、大尺寸能力、从深紫外到红外区域的出色透射率以及超低的热膨胀系数。

在半导体蚀刻过程会刻掉不必要的材料，以确保只留下压印的图案。制造商使用由康宁® HPFS® 熔融石英制成的蚀刻环。这种玻璃基板的极高纯度有助于最大限度地减少潜在缺陷。

低膨胀石英玻璃

低膨胀石英玻璃是指掺有低膨胀氧化物的石英玻璃，其热膨胀系数比一般的石英玻璃低一个或两个数量级。超低膨胀石英玻璃具有极低的热膨胀系数，可用作原子钟腔体、大型望远镜胚体的材料、雷达、彩色电视用的延迟线玻璃、宇宙飞行器窥窗、极紫外光刻机掩膜版、反射镜等，为半导体、国防、航空航天等领域的发展提供了材料基础和技术保障。

来源：康宁公司

康宁公司的超低膨胀玻璃（ULE）和极低膨胀石英玻璃（Extreme ULE）材料的主要优势在于其极低的热膨胀系数，这确保了它们在严苛的极紫外（EUV）环境下持最大的一致性，并具有出色的均匀性，以减少光掩模的“波纹”，以最大限度地降低电路可变性（即降低性能和功率可变性）。由于EUV光刻是一项需要极高精度和稳定性的复杂工艺，新玻璃能够承受最佳强度的极紫外光，从而有效提升芯片的设计和制造能力。

康宁的Extreme ULE玻璃在光掩模和光刻镜中的应用将是一项重大突破，凭借极高的热稳定性和接近零的膨胀特性，将为半导体制造的高标准提供了关键支持，且直接影响到未来芯片的生产效率和成本结构。

总之，此次康宁公司生产的高纯度熔融石英和Extreme ULE玻璃等特殊材料对于高端芯片制造至关重要，因为它们是生产光掩模的核心原料，而光掩模在芯片制造中扮演着至关重要的角色。通过提高这些材料的生产量，康宁公司将加强其在全球半导体材料供应链中的地位，并促进美国芯片制造业的增长。

参考来源：

cnBeta、超能网、国际电子商情综合报道、IT之家

王婷等.低膨胀石英玻璃的制备技术与发展趋势

（中国粉体网编辑整理/初末）

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