100亿！珠海打造半导体产业基地！生产石英部件、碳化硅功率模组载板

中国粉体网讯  11月14日，珠海奕源半导体材料产业基地项目开工仪式在珠海金湾区举行。

项目总投资约100亿元，主要生产具有全球领先工艺技术水平的合成石英部件、碳化硅功率模组载板等，项目整体规划面积约267亩，计划分两期建成投产，一期预计于2026年2月投产，将打造具有全球竞争力的半导体材料产业基地，推动广东半导体产业高质量发展。

北京奕斯伟科技集团：

100亿打造半导体材料产业基地

北京奕斯伟科技集团有限公司是一家集成电路领域产品和服务提供商，核心业务包括芯片与方案、硅材料、生态链开发等板块。其中，从事芯片与方案业务的奕斯伟计算公司是一家以RISC-V为基础的新一代计算架构芯片与方案提供商；从事硅材料业务的奕斯伟材料公司是一家12英寸电子级硅单晶抛光片和外延片的提供商，产品广泛应用于电子通讯、新能源汽车、人工智能等领域所需要的存储芯片、逻辑芯片、图像传感器、显示驱动芯片及功率器件等；生态链开发业务致力于集成电路产业链上下游材料、部件、设备等细分领域及关键环节的项目孵化与开发。

来源：北京奕斯伟科技

半导体产业是数字经济人工智能产业发展不可或缺的基础产业，其中上游材料更是我国产业链自主创新的核心环节。此次开工的奕源半导体项目由奕斯伟集团生态链开发业务板块孵化、华发集团战略领投，是双方在金湾区打造的集研发、生产、销售于一体的半导体材料产业基地，在半导体产业链上游关键环节的重要布局，也是珠海2024年首个百亿级招商项目。

半导体用合成石英部件

石英部件作为集成电路、光伏等高端制造工艺中广泛应用的关键零部件，对半导体等下游产业发展具有重要意义。在集成电路芯片制造中，坩埚、炉管、舟架、钟罩等石英制品是难以替代的关键部件，广泛用于半导体晶圆制造的扩散、氧化、光刻、刻蚀、清洗等主要流程。所以，石英部件的质量水平对于集成电路生产线稳定生产、保证产品合格率具有重要作用。半导体用石英部件一般可以分为高温区器件和低温区器件，它们分别应用于扩散、氧化等高温工艺和刻蚀、封装、光刻、清洗等低温工艺。

先进制程的升级，对各类石英部件如清洗槽、刻蚀环、扩散管等提出了更高的纯度要求，而合成石英部件具有能满足先进制程需求，有效提升良品率等优势，另外，可以通过各类合成工艺，提升材料在刻蚀、光学等方面的使用寿命，因此在半导体市场，天然高纯石英正向合成石英应用演进。

据珠海奕源科技有限公司介绍，奕源项目生产的合成石英部件相比于天然石英部件，具备纯度高、耐久性强、稳定性好、投射性强等优势。

碳化硅功率模组载板

碳化硅功率模组载板是碳化硅模组封装的核心组件，是解决碳化硅高功率模块散热和提升可靠性的关键材料，奕源项目采用自有E-AMB专利技术，产品结合强度更高、导热率更好、可靠性更强，主要面向高端应用市场。

据了解，珠海奕源半导体材料产业基地项目落地后，不仅将与珠海现有半导体产业形成联动，提升珠海产业竞争力，也有望成为全国乃至全球半导体材料领域的重要力量。

参考来源：

珠海金湾、羊城派、北京奕斯伟科技官网等

石英部件在半导体领域应用及市场概览

（中国粉体网编辑整理/初末）

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