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产品介绍MGDS气体输送系统为一体化气体分配系统技术提供了一种方法，利用平面密封技术，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统。每个表面安装组件遵循SEMI标准，可根据需求形成不同的配置形式。维护时，仅需在面板上方进行操作，简单方便。MGDS系列配套专用的减压器、隔膜阀、单项阀、底座及零部件。主要部件材料MGDS底座系列316L/316L（VIM+VAR）MHD系列316L/316L（VIM+VAR）
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