半导体石英坩埚产业链全景图

42页PPT了解半导体用石英坩埚。

半导体石英坩埚在拉制高纯度单晶硅棒时起到关键性作用，高纯度的单晶硅棒在经过切削后成为单晶硅片，因此半导体石英坩埚是下游硅片生产制造、晶圆加工及芯片生产不可或缺的辅助性耗材。

芯片制造对原材料硅片的品质，尤其纯度、缺陷密度、位错、杂质（氧、碳、金属离子）含量等方面要求极为严苛。而石英坩埚是半导体硅片原材料生产环节的关键耗材。

半导体级石英坩埚具有纯度高、质量稳定、耐温性强、节约能源等优点，主要用于生长半导体单晶硅，用于制造集成电路、微电子器件等，是半导体产业发展中重要器具。

石英玻璃材料及制品作为重要耗材应用于芯片制造多个环节。

从外形上看，石英坩埚为半透明状，有内外两层结构，由外向内品质要求提升。

美晶新材是国内少数企业已经可以生产42英寸石英坩埚的企业。美晶新材的光伏石英坩埚使用寿命已突破500小时，远超300-360小时的行业平均水平。

石英坩埚大的质量缺陷会导致硅片良率降低，甚至几百万的产品都会直接报废。

石英坩埚析晶的解释、影响、原因及应对

石英坩埚的内壁因为与硅熔体接触，在高温状态下，若内壁存在气泡，气泡会导致气体和杂质从坩埚内释放到熔体中从而扰乱到单晶硅的生长。

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内表面结最化的天然石英坩埚，适应多次加料工艺，长时间使用。适用于：半导本和太阳能单晶硅的拉制，主推型号：AQM-42。

采用高温电弧法制造，纯度在99.99%以上，具有良好的耐高温性能（1450℃）。用于CZ法单晶硅生长及其它用途。产品参数产品级别应用使用寿命拉制次数表层微气泡量YX30CPV>150h1-4<0.3.%YX30BPV>250h4-6<0.30%YX30APV>350h6

半导体石英坩埚：是半导体单晶硅生产中所必需的石英容器，也是半导体产业和硅太阳能电池的基础设备，中昱采用美国尤尼明高纯石英砂，经高温、电弧抽真空等技术将石英坩埚熔制而成。

欧晶科技主要产品为直拉单晶硅用电弧石英坩埚及石英制品，产品主要应用于光伏和半导体领域，可支持太阳能和半导体用户高温条件下连续拉晶。石英制品主要包括石英复投器、石英护套、石英电极片、石英环、石英液面测位销等，常规规格和产品参数如图所示。欧晶科技可按照客户特殊要求定制。

本公司经多年研究与技术创新，改良了多项传统生产石英坩埚的工艺。引进最新全自动切割倒棱线、全自动检测线、全自动清洗线，尤其在长寿命技术中取得了多项技术成就，达到了国际先进的生产技术水平。公司一直以来对坩埚生产的执着研究，为生产高品质石英坩埚奠定了坚实的基础和技术保障。为什么选择裕能石英坩埚本公司的高纯

主要服务领域涉及光源、光伏、光纤及半导体用石英材料等。公司主导产品有高纯石英砂、石英管（棒）、大口径石英扩散管、石英坩埚、各种石英器件等。公司秉承共赢的经营准则，注重与客户建立长远的战略伙伴关系，与众多知名企业及跨国公司有着广泛、紧密的业务合作。公司坚持可持续发展方针，通过了ISO9001、ISO1

主要特点：金属元素、羟基含量低，质密、粒度分布集中，用于制作石英玻璃产品，气泡、气线、色线等缺陷极少。主要特点：金属元素、羟基含量低，质密、粒度分布集中，用于制作石英玻璃产品，气泡、气线、色线等缺陷极少。主要特点：金属元素、羟基含量低，质密、粒度分布集中，用于制作石英玻璃产品，气泡、气线、色线等缺陷

通过了|SO9000体系认证、国家高新技术企业、江苏省”专精特新“企业等荣誉。目前企业员工120余人，科研人员20余人;并与国内多家知名高校形成”产学研“合作。

高纯石英砂采用特殊工艺将天然石英经过破碎、分拣、提纯等工序加工而成二氧化硅颗粒,主要应用在IC的集成电路和石英玻璃等行业，其高档制品更被广泛应用在大规模及超大规模集成电路、光纤、激光、航空航天、军工等关系国家长远发展的行业，因此石英砂的战略地位非常重要。高纯石英砂是中性无机填料，不含结晶水，不参与被

广泛使用的重要材料，由于其超低金属元素含量、强度高、无色点、耐高温、抗析晶性能突出，制备的坩埚使用寿命长、高温变形率低、品质稳定。其具有化学稳定性强、热稳定性好、机械强度高等优点。在电子、半导体、光伏、涂料、油漆、化工和建筑材料等领域都有广泛的应用。

目前我司产品以光伏级坩埚内层和中层砂为主，纯度达到4N8（99.998%）以上，达到国际领先水平。