- 关注:39
- 关注:124
- 关注:164
- 关注:158
- 屠海令 教授级高级工程师
研究方向:长期从事硅、化合物半导体晶体生长,稀土半导体、硅基半导体材料制备;半导体材料中杂质与缺陷行为,界面、表面物理化学;半导体材料与器件性能关系,纳米半导体材料、高k材料和红外光学材料等方面研究。研究课题包括半导体单晶生长中的传质、传热过程,硅外延生长动力学,半导体材料中的缺陷与杂质,半导体材料表面物理化学,三元系化合物半导体晶格动力学,稀土半导体材料结构相变,锗硅半导体材料的制备技术,纳米半导体材料制备及性能评价,高k栅介质材料缺陷及界面稳定性研究,红外光学材料制备及性能研究,半导体材料检测技术等。
关注:147 - 关注:324
- 关注:235
- 关注:284
- 关注:729
- 关注:432