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参数指标 | APD-SJL-300 | APD-SJL-450 | APD-SJL-500 | APD-SJL-600 | APD-SJL-750 |
坩埚有效容积(mm) | 300X300X400 | 450X450X750 | 500X500X1200 | 600X600X2000 | 750X750X2000 |
装料容积(L) | 36 | 151 | 300 | 720 | 1125 |
电源功率(KW) | 100 | 165 | 250 | 400 | 550 |
极限真空度(pa) | 冷态5pa(加扩散泵可达到冷态-2) | ||||
**温度(℃) | 2400 | ||||
加热方式(℃) | 等静压石墨笼式加热(电阻加热) | ||||
恒温区温差(℃) | ±5 | ||||
炉内工作气氛 | 真空或者惰性气体保护(微正压) |
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