Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度测量系统采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪原理。

测量原理：低相干迈克尔逊干涉仪

如图所示：

Light Source(短相干光源)发出短相干光束，经Beamsplitter分束成两束光，这两束光通过准直仪聚焦到Measurement arm(测量臂)和Reference arm(参考臂)上；

在测量臂段，光束经待测物前后两表面反射产生两束反射光；在参考臂段，光束被delay line(延迟线路)中的扫描参考镜反射。

各反射光束经光纤返回到Beamsplitter 中，此时扫描反射镜反射的光束分别与R1和R2两束光发生干涉产生两干涉信号经探测器(光电二级管)转换为电信号再由显示仪显示。参考镜位置可以精确移动，当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时，才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动，就可以 测量被测镜的位置。

OptiGauge测厚仪特点

1. 非接触式、非破坏性；

2. 实时在线测量或离线测量；

3. 可单次测量多层膜，**可测 20 层；

4. 探针灵活配置，实现多个不同目标测量 （*多可配8个探头）；

5. 测试速度快（1s）

6. 适用范围广

测厚仪性能参数：

测厚仪应用领域：

Lumetrics 产品既可以提供独立的测量头，也可以集成在各种设备中，广泛应用在以下领域，

1、光电子行业：

2 、薄膜行业：测量塑料薄膜的厚度

3 、医疗行业：测量滴液管、塑料管壁厚、糖尿试纸、血袋等

4、单件元件厚度控制（特别适用于红外材料，测量厚度控制平行度）

5 、平板玻璃厚度测试：浮法玻璃、液晶平板 透镜中心厚及胶合间隙测量