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IXRF成立于1993年，位于美国德克萨斯州，专注于精确地微区痕量元素分析产品，包括能谱仪（EDS）和X射线荧光（XRF）。
本产品是把高性能的微型X射线管（两种可选）安装在SEM上，利用能谱仪探测器来接受信号，从而将XRF整合进SEM+EDS系统中，结合了EDS和XRF两者的优势，使其在元素分析方面有自己的独特之处，XRF分析具有对样品无破坏、可直接分析不导电样品、灵敏度更高，能实现PPM量级分析等优点，这是其它能谱产品所不具有的。这种SEM+EDS+XRF的元素分析方案目前已经在美国得到广泛推广和应用。
★更高的峰背比，重叠峰少，灵敏度是EDS的10-1000倍，可以实现PPM级的痕量分析。
★两种型号的X射线管，很好的兼容性，可以与任意厂家的能谱探测器搭配。
两种X射线发生器参数：
| X射线管 | fX-SEMTM | X-BeamTM |
| 阳极类型 | 底窗穿透型 | 侧窗型 |
| 靶材料 | Ag， Mo， & W | Ag， Cu， Mo， Rh & W |
| 加速电压 | 10-35kV | 0-50kV |
| 束流 | 0-100μA | **1mA |
| 阳极束斑大小 | <500μm | 10， 40μm |
| 准直器大小 | 200μm， 500μm， 1000μm(或其他) | **的多毛细管聚焦光学系统 |
| 滤波片 | 根据需求可安装 | 根据需求可安装 |
| 冷却需求 | 传导冷却，不用风冷 | 功率>10瓦时，风冷；其余传导冷却 |
| 控制性/安全性 | 可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示；与SEM互锁、键控电源开关、与高压电源互锁、高压警示 | 可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示、内部互锁阀；键控电源开关、高压警示 |
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