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技术参数：
德国CFP 激光共聚焦显微镜
测量行程Z: 1000 µm
测量距离 : 4 mm 可测量抛光镜头
测量频率 : max. 1000 Hz 敏感及软质材料
分辨率 Z : 20 nm 适于反光不同的点
分辨率X Y: 1 µm 低反射率快速测量
测量角度 : approx. 90°± 25°*1
测量光源 : semiconductor laser，
660 nm， class 2*2
主要特点：
可测量抛光光学镜头
测量敏感及软质材料
适于反光率不同的反光点
低反射率的材料也可快速测量
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