应用：

◆蚀刻-半导体-砷化镓等

◆蚀刻-平板显示

◆蚀刻-微机电系统

◆化学气相沉积

◆去光阻

◆化学机械研磨

技术参数：

等离子体处理中的端点检测和诊断技术。将光谱转化为信号并通过自带软件进行绘制和分析，从而了解机台的工作状况。

可以将SD1024系列光谱仪集成到系统中，或配置为使用时独立于过程的控制器，这将有助于诊断应用程序。检测器需要Verity的SpectraView软件应用程序，通过一台独立的应用计算机或Verity的MTC1000多任务计算机进行操作。运行SpectraView软件的应用计算机通过USB或以太网通信链路管理光谱仪。这个应用计算机接收来自系统主控计算机或处理模块的控制命令(配方、启动、停止)，并根据接口的定义返回端点及其他事件结果。

主要特点：

◆等离子诊断

◆缺陷检测

◆200-800纳米

◆制程监控

◆符合RoHS要求

◆科研级CCD

◆体积小

◆软件功能强大

◆可独立操作