应用范围：灵活的OEM设备，用于多种不同样品的在线寿命测量：从单晶硅到多晶硅锭，从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口，易于连接到许多处理或自动化系统。

在线面扫和单点检测

MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。

样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。

电池生产线上的来料质量检查是*常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。

还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源。

产品介绍

l 各种不同的样品，从单晶硅到多晶硅，从生长的晶片到加工过的晶片，都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。

l MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。

l 样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。

该仪器有许多专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源即可。例如，电池生产线上的来料质量检查是其*常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。

优势

l 在μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。

l 用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆，包括材料制备，和各种工艺处理阶段。

小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。

技术参数