F40薄膜厚度测量仪

结合显微镜的薄膜测量系统

Filmetrics F40-EXR 搭配 SS-Microscope-EXR-1系统

Filmetrics的精密光谱测量系统让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数，通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析，几秒钟内就可测量结果。当测量需要在待测样品表面的某些微小限定区域进行，或者其他应用要求光斑小至1微米时，F40是zui好的选择。使用先前足部校正显微镜的物镜，再进行测量，即可获得精zhun的厚度及光学参数值。只要透过Filmetrics的C-mount连接附件，F40就可以和市面上多数的显微镜连接使用。C-mount上装备有CCD摄像头，可以让用户从电脑屏幕上清晰地看样品和测量位置。

* 取决于材料

1.使用5X物镜参考

2.是基于连续20天，每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2 薄膜样品连续测

量100次所得厚度值的标准偏差的平均值

3.是基于连续20天，每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2薄膜样品连续测

量100次所得厚度值的2倍标准偏差的平均值

选择Filmetrics的优势

• 桌面式薄膜厚度测量的全球**者

• 24小时电话，E-mail和在线支持

• 所有系统皆使用直观的标准分析软件

附 加 特 性

• 嵌入式在线诊断方式

• 免费离线分析软件

• 精细的历史数据功能，帮助用户有效地存储，重现与绘制测试结果

相关应用

半导体制造生物医学原件

• 光刻胶 • 聚合物/聚对二甲苯

• 氧化物/氮化物 • 生物膜/球囊壁厚度

• 硅或其他半导体膜层 • 植入药物涂层

微电子液晶显示器

• 光刻胶 • 盒厚

• 硅膜 • 聚酰亚胺

•氮化铝/氧化锌薄膜滤镜 • 导电透明膜