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全自动化&高集成度&可视化光斑
一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
1. 液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高
2. 技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品，自动去除样品的背反射信号，使得数据分析更简单.
3. 反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测试
4. 全自动集成度高，安装维护简便
5. 一键式操作软件，快速简单
6. 自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀性
1. 光谱范围：450-1000 nm
2. 多种微光斑自动选择
3. 光斑可视技术，可观测任何样品表面
4. 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探测器
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椭圆偏振光谱入门手册——测量膜厚、光学常数的强大工具
您可了解： 1. 椭圆偏振光谱的概念及应用领域 2. 适用的样品及可获取的信息 3. 常见的椭偏仪类型及优势分析 4. 测量、数据分析时的常见问题 |
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