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工作原理 离子减薄制样技术属于离子束加工范畴。其方法是用高能离子束轰击样品表面、高能离子与样品表面原子发生弹性碰撞、样品表面原子能量增大至高于该原子逸出功时，便飞离样品，从而使样品逐渐减薄。离子减薄仪通常用双枪从样品两侧轰击。样品随着支架旋转，使得离子束轰击均匀。 产品描述 GL2011型离子减薄仪由国内顶尖专家精心设计制作，性能稳定，应用广泛，可对金属、非 金属、陶瓷、矿物、半导体、骨骼、牙齿等几乎所有固体材料进行精密减薄处理。 产品特点
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技术参数
产品名称 | 离子减薄仪 |
离子束加速电压 | 0-10KV 连续可调 |
**束流密度 | 大于 200μA/cm |
减薄速度 ( 铜) | 30μ/h（**） |
样品对离子束的倾角 | 5-90°（普通台） 0-90°（精细抛光台） |
真空度 | 5×10-3Pa（不送气） |
离子束对样品的*小倾角 | 7°（普通试样台） 2°（抛光试样台） |
案例：超薄铝箔离子减薄效果
| 减薄15微米 | |
减薄20微米 | |
减薄25微米 | |
案例说明： 样品为约100u的铝箔，表面为铝的氧化物。用化学方法或者物理摩擦的方法减薄，都会非常明显的破坏样品表面形貌，甚至改变样品化学成分。 使用GL-2011型离子减薄仪减薄后，在电子显微镜下可以观察到，样品没有任何变形，而且获得**清晰的样品图像。 | |
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