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原位液氮TEM-STM低温电学样品杆
系统组成：
原位液氮TEM-STM低温电学样品杆，温控仪，电学测试控制器。
基本参数指标：
变温范围为85K-380K，温度稳定性由于±0.1K。
扫描探针操纵指标，室温下：
粗调进针范围： XY方向3mm，Z方向1.5mm
细调扫描范围：XY方向20um，Z方向2um
细调分辨率： XY方向0.2nm，Z方向0.04nm
透射电镜结构分辨率：
全温区优于0.2nm
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