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主要特点：
? 浸没式热场发射电子枪
提供高稳定的电子束束流，与**光栏角控制透镜配合获得高分辨图像.
? 电子束大电流高速分析
电子束**束流强度200nA
? 离子束大电流模式
加工速度很快
? 实时监控加工过程
通过扫描电镜图像可以实时监控加工过程，提高了内部结构分析和获得TEM用薄膜样品的效率。
? 扩展性极强
大样品台**装样直径50mm，并且可以同时安装EDS， EBSD， and CLD等探头
技术参数：
FIB
离子源：Ga（镓）液态金属离子源
保证分辨率： 5 nm 以下(加速电压 30 kV)
加速电压： 5 to 30 kV
放大倍数： x30 (广域)
x100 - x300，000
**束流：30 nA
SEM
浸没式热场发射电子枪
保证分辨率： 1.2 nm (电压 30 kV)
加速电压： 0.2 to 30 kV
放大倍数：x50 - x1，000，000
**束流： 200 nA
样品台移动范围： X:50mm ， Y:50mm ， Z:1.5～40mm ， T:－5～70° ， R:360°
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