光学三维表面形貌仪

仪器简介：

提供了二维分析、三维分析、表面纹理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算、模拟一维分析、数据输出、数据自动动态存储、自定义数据显示格式等。综合绘图软件可以采集、分析、处理和可视化数据。表面统计的计算包括峰值和谷值分析。基于傅立叶变换的空间过滤工具使得高通、低通、通频带和带阻能滤波器变的容易。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值。交互缩放。X-Y和线段剖面。三维线路、混合和固定绘图。用于阶越高度测量的地区差异绘图。

主要特点：

◆微观二维（2D）和三维(3D)形貌轮廓获取

◆多种测量功能

将采样数据运算后，可获得精确定量的面积（空隙率，缺陷密度，磨损轮廓截面积等）、体积（孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等）、台阶高度、线与面粗糙度，透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。

NanoMap 光学轮廓仪在0.1nm 到 10mm 的垂直扫描范围内提供了非接触式高速高精度三维表面测量工能，纵向分辨率可达0.01nm。具有**的自动化水平，友好的用户界面，以及业内**的SPIP分析软件系统。众多先进技术的集成、经过长期实用验证的测量技术核心以及适合于各种专业应用需要的软件功能，使 NanoMap 成为世界上***的光学干涉测量设备，可满足MEMS、金属研究、材料科学、半导体、医用器械等众多领域科研和生产工作中对高精度自动化表面测量的需要。

特点：

能够同时测量形貌和粗糙度

能够测量小半径和小角度

标准真实的颜色信息

提供360°的形状和粗糙度测量

检测具有不同表面表征的表面

测量性能：

表面形貌测量

粗糙度测量

表面波纹度、轮廓度测量

体积测量与分析

二维图像-截面曲线测量

部分技术参数：

垂直分辨率：0.1nm

水平光学分辨率：3300nm

**扫描高度：mm

**扫描面积：mm²

应用

汽车工业

工具和刀具

造纸与印刷

刑事侦察

摩擦与腐蚀

医疗器械

微电子工业