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· 先进的电容高速测试方案，实现CAP+DC同工位测试
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· LCR精准电容测试，*小测试电容值100fF
主要技术指标：
| 测量精度 | 电流：<0.5% 读值 + 0.05% 量程 + 1.5nA 电压：<0.5% 读值 + 0.05% 量程 + 1.5mV 电容：0.5% 读值 + 0.05% 量程 + 10fF |
| 技术指标 | **电流 电压30A /1200V 电容表测量范围：0.2-300pF（BIAS电压范围0-80V, 1MHz） LCR测量范围：0.1pF-0.1uF（BIAS电压范围0-30V, 1MHZ） |
| 分辨率 | 16 bit ADC/DAC |
| 波形记录 | 内部示波器 |
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