设备功能及特点：

本机是全自动的超声波喷涂机台，可实现取片、对位、喷涂、去边、烘烤、放片等全自动作业。超声波喷涂是利用压电材料将电能转换为机械能，以震荡的方式来雾化流体，可以得到均匀且微细的涂布液滴，以温和且微细的液滴从基材正上方开始沉积涂布，阶梯覆盖率的表现更为优越，也能有效提高材料利用率。利用转速跟喷头移动速度做配合，进行连续性的旋转喷涂，可有效提高产能，更可消除一般设备来回喷涂时，因路径不同所造成的膜厚落差。并且本机采用大口径的供料流道设计，能有效避免管路堵塞的发生，减少设备停机维修时间，提高设备使用的稼动率。腔体结构导入流场数值模拟规划，用以进行优化流道几何设计，避免粒子回流污染涂布腔体。

设备特点:

·超声波驱动器可产生120KHz的震荡频率，能将液体雾化成为18µm的液滴。
·Micro flow 多活塞供料系统不仅可连续供料，且可提供1µl/min~25ml/min之间的流量，可满足各式的制程需求。
·超声波喷头是由伺服马达所带动，移动速度**可达到200mm/sec，且可依照制程规划实时改变速度。
·独特的多孔隙陶瓷加热平台设计，**可加热到60度，能够同时进行真空吸附及加热晶圆。独立的冷热板槽，适 合对涂布后的晶圆进行Soft bake。