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1、 **实现精准测量。
2、符合人体工程学设计准则方便操作测量;工作台一键式气动单手快速移动操作; 强大的点、线、弧量测功能;清晰逼真的观测效果。
3、悬臂式结构设计;花岗岩基座平台。
4、采用被动式减震装置,提高整机精度稳定性;自主开发 CD 系列软件,高清彩色摄像机; 同轴光 / 底光测量。
5、采用 NIKON 或 OLYMPUS 高解析度光学系统。
产品介绍
该设备主要用于半导体硅晶片检测、LCD液晶屏检测、实验室材料分析及其他精密工程检测领域。
可对样品进行明场、暗场、偏光以及微分干涉观察。光源可选卤素灯、光纤照明,配电动物镜转换器。
技术参数:
工作台尺寸 | 820*760 | 1060*1000 | 1360*1000 |
玻璃台尺寸(mm) | 528*428 | 728*628 | 928*628 |
运动行程(mm) | X:508 Y:408 | X:708 Y:608 | X:900 Y:600 |
调焦行程(mm) | Z:150 | Z:100 | Z:100 |
显微镜系统 | 三目观察筒 目镜:10倍 物镜:2.5X、5X(BD)、10X(BD)、20X(BD)、50X(CR) 观察模式:反射,透射,偏光,明场,暗场,DIC 5孔电动物镜转换器 | ||
示值误差(um) | 视场内:2μm;视场外精度X/Y≤(3+L/200),Z≤(5+L/200) | ||
照明系统 | 卤素灯及LED光 | ||
CCD | 500W像素 | ||
外形尺寸(mm)长X宽X高 | 1760*2180*1850 | ||
仪器重量(kg) | 2300 | ||
玻璃台承重(kg) | 30 | 50 | 50 |
电源 | 220V±10% | ||
测量软件 | 完整的画面实时二维量测 自动保存图片 录像功能 实时坐标定位 指定的Folder和Server上保存Image 支持多款控制器 支持多款工业相机 图像扫描拼接 |
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