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| 应用领域
应用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化镓（GaN）等半导体材料的刷洗，同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶等材料。
| 设备特点
✦ 陶瓷盘竖直清洗，可减少设备的占地面积。
✦ 采用超声波清洗，可较大限度避免损伤陶瓷盘面。
✦ 自动上/下料系统及12片容量的陶瓷盘推车，可提高效率减少人工。
✦ 搬移机械手单独上下移动，可增强陶瓷盘清洗效果。
| 设备参数
设备型号 | CX-BE05 | |
适应产品 | 陶瓷盘 Φ360mm | |
陶瓷盘 Φ485mm | ||
洗槽数量 | 3槽 | |
超声波洗槽数量 | 2槽 | |
药液洗槽数量 | 1槽 | |
洗槽循环流量 | 20L/min | |
洗槽材质 | SUS316 | |
连续作业时间 | 约3～4分钟/盘（具体视工艺而定） | |
设备尺寸 | W4965mm * L2100mm * H2605mm | |
设备重量 | 约3000kg | |
瓷盘车容量 | 12片 | |
自动上下瓷盘 | 是 | |
水枪 | 1个 | |
搬移机械手上下 | 伺服电机+滚珠丝杠+滚动导轨 | |
搬移机械手左右 | 伺服电机+齿轮齿条+滚动导轨 | |
进盘翻转机构 | 气缸 | |
出盘翻转机构 | 减速电机 | |
设备使用条件 | 电源 | AC380, 50Hz,三相四线制 |
总容量 | 70kw | |
气源接口 | 3/4 | |
进水接口 | 3/4 | |
排水接口 | 1 +1/2 | |
排气 | 正压排气5″ | |
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