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氮化铝静电卡盘烧结炉品牌
锦业源自动化产地
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设备用途:
静电卡盘烧结
设备规格:
有效温区尺寸:500x800mm
加热器:钨板式压双筋加热器(上中下全方位)上下为钨网发热体隔热屏材料:W+Mo复合屏
承载重量:2300KG(不含料架500kg)
**温度:2000℃C
工作温度:1850℃C
温度均匀性:±5℃℃(1500℃测温环测试)
升温速率:0~20°C/min(可调)
控温精度:±1°℃
热电偶:4组铠装钨铼热电偶极限真空度:<10Pa，真空泵和炉体之间装有过滤装置20Min达到10Pa以下
压升率:<5 Pa/h
空炉抽空时间:至工作真空度≤20min工艺气氛:氮气/氢气/湿氢(三质量流量计)，**流量控制6m3/h炉内压力:压力0.03Mpa(微正压)加热功率:270KVA(峰值)
出料方式:下出料+水平行走
冷却水压力:炉体等冷却系统进水压力0.2~0.3Mpa，回水压差<0.1mpa
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