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• 光谱仪特征：平场掠入射光谱仪
• 灵活选择探测器：X射线CCD相机或MCP/低噪声CMOS相机系统
• 支持模块化设计匹配不同的实验场景
• 狭缝对于信噪比的优化：狭缝的特殊支持和可变的滤波单元
• 平场掠入射光谱仪
• 波长范围：极紫外（XUV）光栅 5~90nm，软X射线（SXR）光栅1~20nm
• 探测器的灵活选择：X射线CCD摄像机或 MCP / 低噪声CMOS摄像机系统
• 工作压力<10-6mbar，可选配用于独立真空操作的无油泵系统
• 可根据用户要求定制
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