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电子回旋共振等离子体(ECR)系统品牌
成都华宇产地
四川样本
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性能特点:
֍具有无热阴极、电离度高的特点 ֍具有可忽略放电室壁的散射的特性 ֍能在低真空度下工作 ֍设备性能稳定,使用寿命长 |
主要技术参数:
微波源输出功率 | 260W - 1500W |
极限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
气体质量流量控制 | 多路 |
工作气压 | 1Pa - 200Pa |
磁场强度 | 0 - 1000高斯可调 |
偏压 | 0V - 300V |
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