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BST-1200C-CVD品牌
贝意克产地
安徽合肥样本
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一、产品特色
1、气体先经过气体预热炉预热后进入流化床反应腔体，可以降低大量冷气流进入腔体对工艺的影响。
2、反应器出口配有搅动装置， 防止碳管在反应器出口堵塞。
3、进液口附近配有测温热电偶， 可以控制进液口的温度。
4、进液口活动式， 可以根据工艺需要的温度调整上下位置。
5、收集器排气口安装可转动式滤网，方式滤网堵塞。
二、基本参数
炉管材质 | 石英管 |
炉管尺寸 | Φ300mm（外径） |
加热元件 | 电阻丝 |
工作温度 | ≤1100℃ |
温控系统 | 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为液晶触摸屏控制 |
控温精度 | ±1℃ |
加热区长度 | 300+300+300+300+300mm（5温区） |
| 气路系统 | 内部装有5路高精度质量流量计可准确的控制气体流量，按要求配比 |
准确度 | ±1.5% |
线性 | ±0.5～1.5% |
重复精度 | ±0.2% |
响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
预抽真空泵抽速 | 60m³/H |
气体预热炉加热区长度 | 300+300+300mm |
预热炉加热元件 | 电阻丝 |
预热炉盘管材质 | 310S |
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