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SU-8等离子去胶机
SU-8等离子去胶机

参考价格

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型号

SU-8等离子去胶机

品牌

北京杰能达

产地

北京

样本

暂无
北京杰能达机电设备有限公司

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用于去除SU-8这样的厚光组层

还可以用于各向同性材料蚀刻,例如Si、SiO2、SiOxNy、W、Mo等

不受离子腐蚀的纯化学腐蚀

集成RPS源(遥控/自由基等离子源)

等离子区域水冷

基板超低热负荷

腐蚀速率高(很大范围内不低于200μm/h)

基板尺寸可达460mm x 460mm


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