贝意克1200℃三温区管式CVD设备-参数-价格-中国粉体网

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一、设备组成

这是一款组合管式CVD设备。该设备主要由多路供气系统、三温区加热炉、低真空系统、以及智能控压组件组成。

1、开启式加热炉：

三温区加热炉使用轻质氧化铝纤维材质，K型热电偶测温搭配优质电阻丝为加热原件，内部温场均匀。

2、多路供气系统

质量流量计可按照程序设定，对多路气体进行单独或者混合。操作方便，控制精确。

3、智能控压组件

通过真空计实时监测管内压力，PLC根据设定压力大小调节阀开启大小，以控制管内压力稳定。

4、低真空系统

配备进口机械泵，进口真空计，质量可靠。

二、技术参数

**温度	1200℃
持续工作温度	≤1100℃
升温速率	≤10℃/min
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝
热电偶	K型
控温方式	模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
加热总功率	≤8KW
加热区尺寸	300+300+300mm
设备主体尺寸（长宽高）	20007001300mm
设备重量	约150KG

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