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l 具备AOI 、OCR等功能；兼容4 inch和6 inch晶圆
l 自研光学镜头： FOV 15.6mm
l *小缺陷检测能力：0.3μm
l 缺陷检出率 ≥ 98%
l 缺陷重复性 > 95%
l 镭刻码OCR识别率 ≥ 99.9%（选配）
l 4 inch产能 ≥ 100片/小时
l 6 inch产能 ≥ 60片/小时
l 具备12个分规料盒（Cassette）
l 具备非接触Aligner功能
l 具备晶圆分级功能
l 具备输出检测报表和缺陷分布图功能
l 具备缺陷分类功能，可识别缺陷类别
l 支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口
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