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8寸去边机
1): 适用于多种规格硅片的边缘刻蚀处理;
2): 设备主要由寻参定中心机构,刻蚀清洗机构、上下料机构、通风系统、管路控制系统、电气控制系统、机架等部分组成;
3): 用真空吸盘吸附硅片的方式搬运硅片;
4): 具有两套硅片上料线,上料WTR将硅片搬运至Pre-Aligner中定心并寻参;
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