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全自动胶带研磨清洗机
1）： 采用典型、普遍的湿法清洗方法，使硅片清洗的更彻底；
2）： 采用独立工位伺服机械手、运行过程可监控；
3）： 采用先进的酸液控温技术、能有效控制工艺温度；
4）： 全自动控制，可选择自动配/补液，保证设备的安全稳定性；
5）： 设备由PLC控制,各部分均可以独立操作
6）： 采用国际知名电气元件；
7）： 可满足客户多种工艺及产能的定制化需求。
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