非金属电热元件:
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DRX-95型下降炉主要技术参数与性能描述
主要技术参数:
序号 | 名 称 | 参 数 | 备 注 |
1 | 加热功率 | 3x5kW | 3段式加热 |
2 | **加热温度 | 1200℃ | |
3 | 工作腔尺寸 | Φ950x1600 | |
4 | 坩埚轴行程 | 480 | |
5 | 坩埚升降速度 | 慢速:0.01-2mm/h 快速:≥200mm/min | |
6 | 生长晶体数量 | 8″-10″---1根 5″-7″----4根 3″-4″----6根 | 根据用户要求而定 |
7 | 冷炉真空度 | 1Pa | |
8 | 控温精度 | ≤±0.1℃ | |
9 | 主机占空面积 | 3000×4000×5000 | 长×宽×高 |
性能描述:
1, 触摸屏+PLC控制;科学合理、稳定可靠的工艺热场是生长高质量晶体材料的关键条件;
2, 3段加热分别有欧陆控温仪控制;
3, 温度/下降速度/位移等多种工艺参数/工艺曲线存储;
4, 温度梯度设置范围:横向梯度 ≤0.5℃/cm
纵向温度梯度:5℃--30℃/cm可设置
5, 密闭环境下的坩埚下降设备——采用密闭腔体(真空或气氛条件)多坩埚下降法晶体生长技术,兼顾了密闭环境(真空或气氛条件)环境和坩埚下降法的优点,有利于稳定热场,确保生长出高质量的晶体,防止原料氧化和水解对性能的危害,同时也可防止组分在高温下的挥发和泄露,避免环境污染;
6, 多坩埚公转自转技术——保证每只坩埚受热均匀,温度一致,晶体质量均衡;
7, 节能环保——加热器采用多段式加热方式,可根据不同工艺要求精确控制各段加热器,在消耗*低电能的情况下获得理想工艺条件下;同时,采用密闭的工作腔,不但有利于晶体生长工艺参数的精准获得,有利于工艺气体的有序流动,更有利于废气的集中排放和处理。
8, 炉底与坩埚运动系统同步升降,在保证坩埚位置精度、运动精度的同时,方便在设备底部装卸料。
9, 炉盖可以升起旋转开,便于安装、调整热场。
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