非金属电热元件:
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产品型号 性能参数 | TLX-40 | TLX-40A | TLX-41 | |
1 | 结构形式 | 单层英管+水冷屏蔽罩 | 双层水冷石英管 | 双层水冷石英管 |
2 | 晶体尺寸(吋) | 4-6 | 4-6 | 6-8 |
3 | 内石英管尺寸(mm) | Φ380×1100 | Φ380×1170 | Φ410×1170 |
4 | 加热方式 | 电磁感应 | 电磁感应 | 电磁感应 |
5 | 加热功率(kw) | 60 | 40 | 40 |
6 | 加热频率(kHz) | 8 | 8 | 8 |
7 | **温度(℃) | 2400 | 2400 | 2400 |
8 | 测温方式 | 上、下 | 上、下 | 上、下 |
9 | 温度测控范围(℃) | 1000-3000 | 1000-3000 | 1000-3000 |
10 | 温度控制精度(℃) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
11 | 控温模式 | 功率控制模式 上部温度控制模式 下部温度控制模式 | 功率控制模式 上部温度控制模式 下部温度控制模式 | 功率控制模式 上部温度控制模式 下部温度控制模式 |
12 | 炉内真空度(Pa) | 6.00E-04 | 6.00E-04 | 6.00E-04 |
13 | 抽气速率(mbar*l/s) | 800L/s | 800L/s | 800L/s |
14 | 漏气率(mbar*l/s) | 5.00E-09 | 5.00E-09 | 5.00E-09 |
15 | 线圈升降速度(mm/h) | 0.02-2 | 0.02-2 | 0.02-2 |
16 | 线圈升降距离(mm) | ≥200 | ≥300 | ≥300 |
17 | 坩埚升降速度(mm/min) | ≥150 | ≥150 | ≥150 |
18 | 坩埚升降距离(mm) | ≥1250 | ≥850 | ≥850 |
19 | 坩埚旋转速度(rpm) | 0.1-20 | 0.1-20 | 0.1-20 |
20 | 炉盖开启方式 | 气动升降 手动旋转 | 气动升降 手动旋转 | 气动升降 手动旋转 |
21 | 气体源 | N2/Ar/H2 | N2/Ar/H2 | N2/Ar/H2 |
22 | 冷却水压力(MPa) | 0.15-0.2 | 0.15-0.2 | 0.15-0.2 |
23 | 冷却水流量(m3/h) | 5 | 6 | 6 |
24 | 冷却水温度(℃) | (22-26)±2℃ | (22-26)±2℃ | (22-26)±2℃ |
25 | 冷却水质 | PH6-8,软化纯净水 | PH6-8,软化纯净水 | PH6-8,软化纯净水 |
26 | 装卸料位置 | 下 | 上、下 | 上、下 |
27 | 整机控制方式 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
28 | 主机尺寸 | 1400×2100×3800 | 1400×2100×3600 | 1680×2200 |
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