额定温度：
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产品型号 性能参数 | TLX-40 | TLX-40A | TLX-41 | |
1 | 结构形式 | 单层英管+水冷屏蔽罩 | 双层水冷石英管 | 双层水冷石英管 |
2 | 晶体尺寸（吋） | 4-6 | 4-6 | 6-8 |
3 | 内石英管尺寸（mm） | Φ380×1100 | Φ380×1170 | Φ410×1170 |
4 | 加热方式 | 电磁感应 | 电磁感应 | 电磁感应 |
5 | 加热功率（kw） | 60 | 40 | 40 |
6 | 加热频率（kHz） | 8 | 8 | 8 |
7 | **温度（℃） | 2400 | 2400 | 2400 |
8 | 测温方式 | 上、下 | 上、下 | 上、下 |
9 | 温度测控范围（℃） | 1000-3000 | 1000-3000 | 1000-3000 |
10 | 温度控制精度（℃） | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
11 | 控温模式 | 功率控制模式 上部温度控制模式 下部温度控制模式 | 功率控制模式 上部温度控制模式 下部温度控制模式 | 功率控制模式 上部温度控制模式 下部温度控制模式 |
12 | 炉内真空度（Pa） | 6．00E-04 | 6．00E-04 | 6．00E-04 |
13 | 抽气速率（mbar*l/s） | 800L/s | 800L/s | 800L/s |
14 | 漏气率（mbar*l/s） | 5.00E-09 | 5.00E-09 | 5.00E-09 |
15 | 线圈升降速度（mm/h） | 0.02-2 | 0.02-2 | 0.02-2 |
16 | 线圈升降距离（mm） | ≥200 | ≥300 | ≥300 |
17 | 坩埚升降速度（mm/min） | ≥150 | ≥150 | ≥150 |
18 | 坩埚升降距离（mm） | ≥1250 | ≥850 | ≥850 |
19 | 坩埚旋转速度（rpm） | 0.1-20 | 0.1-20 | 0.1-20 |
20 | 炉盖开启方式 | 气动升降 手动旋转 | 气动升降 手动旋转 | 气动升降 手动旋转 |
21 | 气体源 | N2/Ar/H2 | N2/Ar/H2 | N2/Ar/H2 |
22 | 冷却水压力（MPa） | 0.15-0.2 | 0.15-0.2 | 0.15-0.2 |
23 | 冷却水流量（m3/h） | 5 | 6 | 6 |
24 | 冷却水温度（℃） | （22-26）±2℃ | （22-26）±2℃ | （22-26）±2℃ |
25 | 冷却水质 | PH6-8，软化纯净水 | PH6-8，软化纯净水 | PH6-8，软化纯净水 |
26 | 装卸料位置 | 下 | 上、下 | 上、下 |
27 | 整机控制方式 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
28 | 主机尺寸 | 1400×2100×3800 | 1400×2100×3600 | 1680×2200 |
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