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DX-7A型硅单晶晶片定向仪(7AC型7AS型7AZ型)
功能:该仪器主要用于测定切割后的硅单晶晶片表面及参考面的角度,也可用于测定其它种类单晶材料的晶片。仪器配有吸气泵。可测定直径为 3-8 英寸的晶片,测定晶面为 100 、 110 、 111 、 210 等。该仪器为双工作台,可同时完成相同任务,也可分别测定晶片表面和参考面,根据用户需要配置。
技术参数:
项目 | 参 数 |
输入电源 | 单相交流220V,50Hz,0.3KW. |
大管电压 | 30kV |
管电流 | 0-5mA连续可调 |
接收器 | 盖革计数器,工作电压高为DC1050V |
X射线管 | 铜靶,风扇冷却,阳极接地。 |
测定角度 | 2θ=-10~120°,θ=-5~60°。 |
综合精度 | ±30″(用标准石英片10ī1面测量) |
小读数 | 1″ |
外形尺寸 | 1290(长)x772(宽)x1300(高)mm |
仪器重量 | 300kg。 |
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