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型号:IBSV-1030
特点:
a)基板垂直放置,水平监控;
b)转靶左右可调,保证靶面中心和离子源**距离;
c)基板:12吋×1 ;
d)靶材:两靶或三靶可更换;
e)多光路监控。
f)工件夹具:12吋
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售后服务
易用性
性价比
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