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特征：
高单脉冲能量(>1.5mJ)及高平均功率(15W)；
光束质量好M2<1.2，圆度高，加工均匀性好；
脉冲能量稳定性好，加工效果一致性好；
脉冲宽度窄<15ns@10kHz，热影响小；
可选风冷或水冷；
应用：
半导体晶圆的切割、标识、打孔；
锂电池极耳的切割，焊接；
PCB电路板的切割、打孔；
激光精密调阻；
精密钻孔加工；
金属类材料切割、打标、打孔；
激光晶体 | Nd:YAG | Nd:YAG | Nd:YAG | Nd:YAG |
波长 | 1064nm | 1064nm | 1064nm | 1064nm |
功率 | 2W | 5W | 5W | 15W |
工作频率 | 10kHz | 10kHz | 10kHz | 10kHz |
单脉冲能量 | 0.2mJ | 0.5mJ | 0.5mJ | 1.5mJ |
脉冲宽度 | ＜12ns | ＜40ns | ＜70ns | ＜40ns |
重频频率 | 1~30kHz | 1~50kHz | 1~50kHz | 1~50kHz |
光束质量 | ＜1.2 | ＜1.2 | ＜1.2 | ＜1.3 |
光斑圆度 | ＞90% | ＞90% | ＞90% | ＞90% |
脉冲稳定性 | ＜2.5% | ＜2.5% | ＜2.5% | ＜2.5% |
偏振方式 | 竖直 | 竖直 | 竖直 | 竖直 |
冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 水冷 |
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