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连续式磁控溅射镀膜设备

连续式磁控溅射镀膜设备
  • 品牌:福宜真空
  • 产地:上海
  • 关注度:1655
  • 型号:连续式磁控溅射镀膜设备
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    连续式磁控溅射镀膜设备主要用于在平板玻璃、压克力、PC、PET等表面镀制高质量、高性能金属膜、电磁屏蔽膜、反应膜、复合膜、透明导电膜、抗反射(AR)、增反射膜,LOW-E等膜层。本公司可按用户要求提供设计,提供全套镀膜设备,负责工艺,按交“钥匙”工程服务。

    设备特点:

    1.设备采用真空磁控溅射技术,孪生阴极,中频溅射技术,并配以先进的控制系统 。

    2.生产过程全部自动,连续进行。被镀工件加热温度**可达350℃,温度分区控制可调。

    3.真空室材料采用SUS304,真空室内壁进行抛光处理,外壁采用抛光后喷漆处理。

    4.真空室之间采用独立门阀隔开,我们设计的是插板阀,可以有效隔断,稳定工艺气体。传动采用磁导向,保障传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动,运行速度可调节。

    5.电气控制系统:触摸屏与PLC自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制。

    1.极限真空:7x10-4Pa.                    

    2.生产周期40~120秒/架

    3.基本架尺寸:859*1500mm (可以根据要求定做) 

    4.膜层均匀性:±2%

    5.膜层稳定性:达到国际标准

    玻璃、导电膜

    广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域

    适用于柔性电致变色器件、柔性薄膜太阳能电池、柔性EL发光器件的制备和生产


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    • 连续式磁控溅射镀膜设备使用的注意事项
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    工商信息

    企业名称

    上海福宜真空设备有限公司

    企业类型

    信用代码

    91310114078107676B

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

    有效期限

    经营范围

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    上海福宜真空设备有限公司
    客服电话
    上海福宜真空设备有限公司,是致力于高端真空镀膜设备、复杂镀膜工艺和真空设备核心部件的研发、生产、销售及技术服务的高新技术企业。 公司创始人和核心技术团队,致力于复杂镀膜工艺的开发,镀膜工艺和设备集成的理论和实际相结合是公司发展的主要特色。相对于整机设备和镀膜工艺技术,国内核心部件的研究和制备技术水平与国外差距更大。公司投入超过1000万元,重点开发的核心部件主要有:高材料利用率(材料利用率超过40-60%以上)矩形平面磁控溅射阴极、产业用旋转磁控溅射阴极(材料利用率达
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