MCPD series 薄膜在线测量设备是光学式测量系统，可以以非接触和非破坏性的方式测量薄膜厚度、透过率、颜色等。

可测量的膜厚范围为 65 nm 到 92 μm。（以折射率n=1.5换算）

采用分光干涉法测量原理，支持多层膜厚测量，同时实现高重复性精度。采用独创的算法，可以高速实时监控，非常适合于薄膜在线测量。

特  点

● 膜厚测量范围 65 nm ~ 92 μm（SiO2换算）

多点测量点切换对应系统

导轨测量系统

在导轨测量系统中，通过导轨机构驱动在TD方向扫描，以任意宽度和任意间距测量TD方向的膜厚分布。可以用作涂层的条件设置和运行时的实时监控。

通过导轨机构横向移动进行多点测量，无需准备多个检测器或数据处理单元。

真空环境下的多点反射 · 透过光谱测量

与各种法兰兼容的耐真空光纤，可以在高真空下测量反射 · 透射光谱。此外，采用大塚电子独创算法，不易受基膜上下移动的影响，高精度测量薄膜膜厚。可作为实时监控使用。

MCPD-9800

※膜厚值以n=1.5换算。并与式样相关。

MCPD-6800

※膜厚值以n=1.5换算。并与式样相关。