显微分光膜厚仪“OPTM”

OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪，测试膜厚、折射率n、消光系数k、绝对反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。适用于各种可透光膜层的测试，并有独家专利可针对透明基板去除背面反射，从而达到“真实反射率、膜厚”测试的目的。此外，软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程。

OPTM光学膜厚仪可高速测量极薄膜（1nm～92um），对样品非接触、非破坏测量，1秒即可获取结果。搭载自动平台Mapping测量膜厚分布。应用于半导体材料（硅晶圆、氧化膜、氮化膜、第3代半导体、光刻胶）、功能膜（AR、硬涂层、PET）、显示材料（液晶、OLED、LCOS）、医疗材料等领域，极大提升生产效率。该设备2016年开始在中国市场销售，得到了半导体企业、大学、研究所等众多客户的青睐。

应用例SiO2SiN膜的膜厚测量

半导体晶体管通过控制电流的状态来传输信号，为了防止电流泄露或者另一个晶体管的电流擅自进入电路中，需要在晶体管之间嵌入一层绝缘膜，使其相互隔离。绝缘膜会使用SiO2(二氧化硅)和SiN(氮化硅)。SiO2作为绝缘膜，SiN是比SiO2拥有更高介电常数的绝缘膜，并且在用CMP去除不需要的SiO2时可以作为挡板。之后SiN也可以被去除。因为，需要测量它们的厚度，以了解它们作为电介质薄膜的性能和准确的工艺控制。

关于我们

大塚电子株式会社是以光技术为核心的检测仪器公司，从事用于开发、制造以及销售医疗、计测、理化领域的仪器和设备。大塚电子（苏州）有限公司是2007年在华成立的机构，从事仪器销售及技术支持。在过去的15年里，我们为液晶面板本土化制造提供光学测量设备支持。而今我们继续为纳米制造、半导体国产化贡献自己的力量。